為有效檢測通過樣品的極低氣體傳輸率, 不採用直接測量流量的方式,因為流量計並不是很準確。 而氣體滲透儀是通過測量出口端壓力的時間變化率來間接確定低氣體流速。
將樣品裝入樣品槽,該樣品槽分為兩個空間。 一個槽體位於樣品的入口側,另一個則位於槽體的出口側。 當確定出口側樣品槽的確切體積後, 樣品兩側開始被抽空。 然後將一定量的測試氣體引入樣品入口側的槽體,其壓力幾乎保持恆定,並監測樣品兩側的壓力。 這兩個壓力會被記錄為時間的函數。 此數據用於計算傳輸速率。 為獲得最大的精度,系統必須保持在一個恆定的溫度。